AFM在LED Chip表面缺陷的应用

2016-04-25  浏览量:577

【摘要】本文通过AFM的面扫描,以及高精度的尺寸测量功能,准确的分析LED Chip表面孔洞的尺寸和深度,为产品质量提供快捷有效的证据。

 

【关键词】 LED,失效分析,AFM

 

1. 引言

该LED Chip在生产完成后,发现表面存在异常,后续用SEM观察到表面有孔洞缺陷,但SEM无法测试其深度,为帮助查找其缺陷形成的原因,需测量其孔洞深度及表面粗糙度。

 

失效分析

图1. 孔洞SEM观察图

 

2. 试验与结果

 

失效分析

图2. 孔洞深度测试图

 

失效分析

图3. 正常位置粗糙度测试图

 

失效分析

图4. 异常位置粗糙度测试图

 

3. 结论

根据AFM测试结果,样品表面异常凹坑深度为16.2nm,异常区域粗糙度为0.2nm,正常区域粗糙度为0.106nm,孔洞处于异常位置的中间。

 

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